2012-7-5 11:10:20

 

表面涂层技术作为提高材料综合性能的一种有效手段，一直引起科学工作者的广泛关注。随着研究的深入，涂层薄膜的厚度也由原来的微米级向亚微米级甚至纳米级过渡。为了评价涂层的质量，也为了使涂层技术的研究从定性走入定量，材料性能测试是必不可少的。硬度是评价材料机械性能的一项基本指标。对薄膜而言，常规的硬度检测手段将会压透薄膜，直至基体，( www.sheeninstruments.cn/  )所以，是不适用的。我们在吸收扫描探针显微术计量领域的最新成果的基础上，研究开发了表面涂层薄膜硬度检测系统并成功地用于涂层薄膜硬度及其它性能的检测。

表面涂层薄膜硬度检测技术

常规的硬度检测方法是:对试样施加一已知载荷，得到压痕，然后通过显微镜系统测出压痕区域以此来获得硬度值。这种方法是先加载，后离线测量，所以，在施载过程中，压深是未知的。

表面涂层薄膜硬度检测方法是:在计算机控制下，通过超细金刚石探针对试样连续加载直至设定值，并在线监测压深量，然后，通过探针测出压痕区域。由于施加的是超低载荷，再加上监测传感器具有优于1 nm的位移分辨率，所以，可以获得小到nm级((0.1^-100nm)的压深，适用于表面涂层薄膜硬度测试。

 

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